高性能移動(dòng)型檢漏儀——ASM 390

移動(dòng)式檢漏儀針對快速達到抽速要求和響應時(shí)間短進(jìn)行優(yōu)化，以滿(mǎn)足大部件測試的需要。

干式氦檢和移動(dòng)性

普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀ASM 390 和 ASM 392 是理想的泄漏檢測解決方案，可用于半導體和顯示器產(chǎn)業(yè)以及其他要求高的應用，這些應用需要快速的抽空時(shí)間和高靈敏度。兩種型號都符合 Semi S2 標準。

這些檢漏儀都裝備干式非接觸前級泵和強大的高真空渦輪分子泵，從而使其成為清潔環(huán)境下各種組件泄漏測試的理想工具。ASM 392裝有一臺額外的渦輪分子泵，可以加速泄漏檢測流程，降低生產(chǎn)設

備的停機時(shí)間。

耐用、精確、可靠

普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀ASM 390 和 ASM 392 的開(kāi)發(fā)是基于實(shí)現任何等級的操作人員都能上手的設備。他們都可以在最短的時(shí)間里提供好的性能和精確的結果，從而在現場(chǎng)提高效率。

符合人機工學(xué)且操縱靈敏

普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀ASM 390 和 ASM 392 具有同樣的平臺，人機工學(xué)設計，尺寸和高度合適，前部有一輔助手柄，顯示器可自由旋轉、可拆卸，前部入口易于連接測試端口，可操作性方便，可用于各種測試場(chǎng)地，即使狹小的空間也應對自如。

精巧智能且用戶(hù)友好

通過(guò)色彩清晰的寬屏觸摸屏、帶模塊化隔倉和真空波紋管存儲的集成工具箱，在使用地點(diǎn)所有需要的附件無(wú)不齊備，您會(huì )感嘆泄漏檢測多么輕松。

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 性能好，靈敏度高，移動(dòng)性強

• 采用無(wú)顆粒，潔凈的干式ACP羅茨泵作為前級泵

• 無(wú)塵室兼容

• 快速進(jìn)入測量狀態(tài)

• 可選的通信接口

• 360度全彩觸摸顯示屏提供更佳的視野

• 9種可選語(yǔ)言及直觀(guān)簡(jiǎn)便的菜單導航

應用領(lǐng)域

半導體 鍍膜 太陽(yáng)能 粒子加速 真空管件（貫通器材、閥門(mén)、波紋管、伸縮接頭）鐳射技術(shù) 超純物質(zhì) 電子元器件 航天 醫藥