普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，是一款能提供定性化泄漏檢測的檢漏儀，在進(jìn)氣口壓力100hPa就能進(jìn)行檢測。德國普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀ASM340以其強大的抽送系統為特征，且具有油式和干式兩個(gè)版本。易操作性、超快的響應時(shí)間以及較短恢復時(shí)間都是此等緊湊型多用途裝置的凸出特征。即使是在最嚴苛的檢測條件下，ASM340都是用于日常檢測的解決方案。

　　是用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過(guò)漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

　　普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀系統的檢漏方式通常有兩種，一種為常規檢漏，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散原理如圖所示。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵進(jìn)氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著(zhù)泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進(jìn)氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統和電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀的內部一般有標準漏孔，可將標準漏孔拆卸進(jìn)行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀將僅需兩個(gè)按鈕的簡(jiǎn)便操作同先進(jìn)的專(zhuān)業(yè)系統智能結合起來(lái)。質(zhì)譜儀與真空系統的結合提供了強大的性能，能為不同的應用提供廣泛的測試方法。氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛的選項帶來(lái)了巨大的配置靈活性，極富活力的設計創(chuàng )意令氦質(zhì)譜檢漏儀能夠在嚴苛的環(huán)境中可靠地運行，滿(mǎn)足苛刻的工業(yè)標準。