發(fā)布時(shí)間： 2024-02-25 點(diǎn)擊次數： 543次
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的檢漏儀器，由真空系統、氦氣充填系統、氣體采樣系統、加熱系統和數據處理系統組成。檢測時(shí)，將被測物體置于真空室內，使其內部達到所需真空度后，使用氦氣充填系統向被測物體外部充填氦氣，并通過(guò)氣體采樣系統將被測物體周?chē)h(huán)境中的氦氣吸入系統內部。在采集過(guò)程中，加熱系統會(huì )對被測物體進(jìn)行加熱處理，以促進(jìn)任何潛在泄漏點(diǎn)的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進(jìn)入真空室內的質(zhì)譜儀中進(jìn)行分析，通過(guò)檢測氦氣分子的質(zhì)量/電荷比，來(lái)確定被測物體是否存在泄漏。
1、準備工作
確保氦質(zhì)譜檢漏儀處于正常工作狀態(tài)，檢查設備各部件是否完好。
準備氦氣瓶并連接到氦氣充填系統。
打開(kāi)檢漏儀的電源，等待設備預熱并達到工作狀態(tài)。
2、設置參數
在控制面板或計算機軟件上設置檢測參數，如氦氣流量、檢測靈敏度等。
確保質(zhì)譜儀的工作參數正確設置，如質(zhì)譜范圍、掃描速度等。
3、準備待檢測系統
將待檢測系統或容器放置在樣品室中，并確保密封良好。
連接待檢測系統與氦氣充填系統，確保氦氣可以進(jìn)入系統內部。
4、開(kāi)始檢測
打開(kāi)氦氣充填系統，讓氦氣進(jìn)入待檢測系統。
啟動(dòng)質(zhì)譜儀，開(kāi)始檢測待檢測系統中的氦氣濃度。
監控質(zhì)譜儀顯示的氦氣濃度數據，尋找可能的泄漏點(diǎn)。
5、定位泄漏點(diǎn)
移動(dòng)氦氣檢測探頭，逐步對系統各部分進(jìn)行檢測。
當質(zhì)譜儀顯示氦氣濃度升高時(shí)，表明可能存在泄漏點(diǎn)，需停止移動(dòng)探頭并進(jìn)行確認。
6、確認泄漏點(diǎn)
確認泄漏點(diǎn)的位置后，可以使用其他方法進(jìn)行修復，如密封漏點(diǎn)或更換損壞部件。
重新進(jìn)行泄漏檢測，確保泄漏問(wèn)題已解決。
7、結束操作
關(guān)閉氦氣充填系統和質(zhì)譜儀，斷開(kāi)連接。
關(guān)閉氦氣瓶，確保系統內氦氣排空。
關(guān)閉檢漏儀的電源，進(jìn)行設備的清潔和維護工作。
8、記錄和報告
記錄檢測過(guò)程中的參數設置、檢測結果等信息。
根據檢測結果生成檢測報告，包括泄漏點(diǎn)位置、泄漏量等信息。
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