發(fā)布時(shí)間: 2022-10-26 點(diǎn)擊次數: 625次
普發(fā)渦輪分子泵是利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快,能抗各種射線(xiàn)的照射,耐大氣沖擊,無(wú)氣體存儲和解吸效應,無(wú)油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
渦輪分子泵的軸承由有油潤滑的滾動(dòng)軸承和滑動(dòng)軸承向完q非接觸式的空氣軸承和磁軸承方向發(fā)展。轉子的抽氣單元有渦輪葉片、盤(pán)式葉片和牽引式螺旋槽結構。而且動(dòng)、靜葉片間的間隙很小,葉片很長(cháng)剛性差。由于操作錯誤,突暴大氣到泵中,使葉片損壞,因為受大氣負載和離心力的作用開(kāi)始彎曲振動(dòng),超過(guò)動(dòng)、靜葉片的間隙將會(huì )發(fā)生葉片相碰損壞事故。因而,高速旋轉的轉子系統遭到破壞時(shí)有發(fā)生,所以關(guān)于渦輪分子泵的安全使用問(wèn)題,曾引起過(guò)渦輪分子泵的設計者和操作者的重視和研究,以使渦輪分子泵順利推廣應用與安全運行。
1、不能在前級泵工作時(shí)(前級管路接通)和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉,否則將會(huì )使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵的清潔端。
2、分子泵系統在停機充干燥氣體前,一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉,且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進(jìn)行充氣。
3、選擇系統前級泵的大小時(shí),應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。
4、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運行。
5、分子泵入口應裝設防護網(wǎng),以避免異物進(jìn)入泵內損壞泵轉子和定子葉片。