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萊寶干式真空泵主要有下列幾種形式

發(fā)布時(shí)間: 2022-11-26  點(diǎn)擊次數: 1532次
 
  萊寶干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無(wú)油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
  干式真空泵最為明顯的能力就是不用水來(lái)做介質(zhì),與傳統的真空設備相比,它可以有效的節約水資源,減少企業(yè)的能源消耗,真正使企業(yè)的生產(chǎn)更加的環(huán)保,并且可以提升企業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的能力。同時(shí),在不斷發(fā)展的優(yōu)勢實(shí)力下,干泵的性能已經(jīng)充分體現出其自身的優(yōu)勢,要加大對產(chǎn)品應用開(kāi)發(fā)能力的重要性,針對企業(yè)生產(chǎn)的需要,加大對技術(shù)優(yōu)勢能力的不斷帶動(dòng),提高產(chǎn)品生產(chǎn)能力的有效展現。
  萊寶干式真空泵主要有下列幾種形式:
  1、雙圓裂片式
  雙圓裂片式設計和目前流行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上,一些最早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來(lái)。這種多級設計使得氣體通路相當復雜,并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時(shí),為了達到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然,這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
  2、三葉圓裂片式
  三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完q相同,只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著(zhù)相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量,在傳動(dòng)部分有的廠(chǎng)家選用兩個(gè)直流馬達,但這也會(huì )導致扭矩減小,重新啟動(dòng)的能力-下降。同雙圓裂片式設計一樣,三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來(lái)起到稀釋和隔離作用。
  3、組合式(羅茨+爪)
  組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來(lái)提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來(lái)提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完q相同。也有些廠(chǎng)家將其最后一級改為星型設計,這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來(lái)起到稀釋和隔離作用。
  4、外部壓縮型螺桿式
  在外部壓縮型螺桿式設計中,使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到最小,同時(shí)使得氣體通路最短也簡(jiǎn)單。這樣,氣體在泵體內停留的時(shí)間也最短。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高,但在很多復雜的半導體工藝中表現出極的穩定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡(jiǎn)單,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。
  5、內部壓縮型螺桿式
  除了使用一對非等距螺桿以外,內部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產(chǎn)生壓縮。這種設計由于產(chǎn)生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當的水平。但在很多工藝中,這種內部壓縮同多級泵一樣,極易造成氣體在泵體內的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。
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