普發(fā)渦輪分子泵是一種高真空泵，它采用渦輪葉輪的旋轉來(lái)產(chǎn)生氣體的吸入和排出。它在科學(xué)研究、半導體制造、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域中得到廣泛應用。其工作原理基于分子動(dòng)量傳遞和離心力。當渦輪葉輪高速旋轉時(shí)，氣體分子受到離心力的作用，從進(jìn)口處進(jìn)入葉片間隙，并在葉片之間碰撞和擴散。由于葉片的形狀和排列，氣體分子在葉片間形成螺旋狀流動(dòng)，逐漸增加速度和動(dòng)能。最終，氣體分子被抽取到渦輪葉輪的出口處，并排入真空系統中。

　　普發(fā)渦輪分子泵的技術(shù)特點(diǎn)：

　　1、多種優(yōu)點(diǎn)

　　清潔無(wú)油蒸汽返流：渦輪分子泵在操作過(guò)程中，可以為被抽容器提供極為清潔的真空環(huán)境，且不含有碳氫化合物的污染。

　　使用方便：許多應用中，渦輪分子泵可以不用高真空或粗真空閥，只需簡(jiǎn)單按電鈕即可開(kāi)始工作。

　　氣體輸送能力強：特別對輕氣體如氫、氦有強大的輸送能力，適用于富氫的工藝過(guò)程。

　　適于超高真空應用：一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配備性能良好的干式前級泵，其極限真空可達到10^-10 Torr。

　　高壓力下性能良好：有些渦輪分子泵的入口壓力可在10^-3^至10^-1^Torr之間運行。

　　循環(huán)時(shí)間短：多數渦輪分子泵，尤其是小一些的，從關(guān)閉狀態(tài)到正常運行速度的時(shí)間一般只需幾分鐘。

　　2、工作原理

　　渦輪分子泵通過(guò)動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列，利用傾斜葉片的運動(dòng)，使氣體分子從左側穿過(guò)葉片到達右側的幾率大于反向，從而產(chǎn)生抽氣作用。

　　2、高性能特點(diǎn)

　　壓縮比：渦輪分子泵的壓縮比與泵的級數、轉速以及氣體種類(lèi)有關(guān)。例如，對氮（或空氣）的壓縮比可達10^8^至10^9^，對氫為10^2^至10^4^，對重氣體如油蒸氣則大于10^10^。

　　工作壓力范圍廣：泵的極限壓力為10^-9^帕，工作壓力范圍為10^-1^至10^-8^帕。

　　抽速大：渦輪分子泵的抽速范圍為幾十到幾千升每秒。

　　4、先進(jìn)技術(shù)應用

　　磁懸浮技術(shù)：現代渦輪分子泵多采用磁懸浮軸承，這種軸承不用潤滑油，可實(shí)現完q無(wú)油化，軸承壽命長(cháng)，振動(dòng)與噪音低，且泵可以任意角度安裝。

　　高轉速：渦輪分子泵由轉速為10,000至60,000轉/分的中頻電動(dòng)機直聯(lián)驅動(dòng)。