普發(fā)渦輪分子泵是一種高真空泵，它采用渦輪葉輪的旋轉來(lái)產(chǎn)生氣體的吸入和排出。它在科學(xué)研究、半導體制造、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域中得到廣泛應用。其工作原理基于分子動(dòng)量傳遞和離心力。當渦輪葉輪高速旋轉時(shí)，氣體分子受到離心力的作用，從進(jìn)口處進(jìn)入葉片間隙，并在葉片之間碰撞和擴散。由于葉片的形狀和排列，氣體分子在葉片間形成螺旋狀流動(dòng)，逐漸增加速度和動(dòng)能。最終，氣體分子被抽取到渦輪葉輪的出口處，并排入真空系統中。

　　在操作普發(fā)渦輪分子泵時(shí)，需要格外注意以下幾個(gè)關(guān)鍵事項：

　　1、前級真空壓力

　　對于帶有額外壓縮級的渦輪分子泵，其前真空壓力可以上升至30 hPa以上。而帶有純渦輪級的泵，最大前真空壓力為2-3 hPa，超過(guò)此值可能導致泵過(guò)熱甚至損壞。

　　2、標注排氣管道尺寸

　　安裝排氣管道和閥門(mén)時(shí)，應至少按照泵的標稱(chēng)尺寸進(jìn)行，以避免流導值不良導致的抽速顯著(zhù)下降。例如，直徑和長(cháng)度不符合要求的進(jìn)氣管會(huì )導致電導值損失，嚴重影響有效抽速。

　　3、高真空和前真空連接

　　如果渦輪分子泵的高真空法蘭連接至接受器，前級管道必須保持靈活，否則固定連接會(huì )導致泵殼受熱后無(wú)法膨脹，產(chǎn)生不當的材料應力，影響轉子自由移動(dòng)并可能導致軸承故障。

　　4、安全連接高真空法蘭/真空室

　　渦輪分子泵在額定轉速下具有較高的扭矩，尤其是在大型泵中，必須安全連接高真空法蘭和真空室，避免因布局不當導致真空室變形或泵扭曲。

　　5、碎片保護

　　應在渦輪分子泵的高真空法蘭上插入防護罩，以防止墜落碎片損壞轉子。這一點(diǎn)對于確保泵的長(cháng)期穩定運行至關(guān)重要。

　　6、烘烤泵

　　烘烤泵時(shí)，必須遵守生產(chǎn)商規定的最大高真空法蘭溫度為120°C的要求，過(guò)高溫度會(huì )導致泵過(guò)熱，損害軸承或轉子。

　　7、為渦輪分子泵排氣

　　正確排氣是避免碳氫化合物返流和維護系統純凈的關(guān)鍵步驟。應使用干燥氣體如氮氣或無(wú)油空氣進(jìn)行充氣，并在適當的速度下排氣。

　　8、磁場(chǎng)與輻射

　　強磁場(chǎng)會(huì )對渦輪分子泵產(chǎn)生不良影響，導致轉子過(guò)熱。同時(shí)，粒子加速器附近的輻射也會(huì )損壞電子驅動(dòng)器和測量設備，因此需要采取防護措施。