普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的檢漏儀器，由真空系統(tǒng)、氦氣充填系統(tǒng)、氣體采樣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。檢測時，將被測物體置于真空室內(nèi)，使其內(nèi)部達到所需真空度后，使用氦氣充填系統(tǒng)向被測物體外部充填氦氣，并通過氣體采樣系統(tǒng)將被測物體周圍環(huán)境中的氦氣吸入系統(tǒng)內(nèi)部。在采集過程中，加熱系統(tǒng)會對被測物體進行加熱處理，以促進任何潛在泄漏點的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進入真空室內(nèi)的質(zhì)譜儀中進行分析，通過檢測氦氣分子的質(zhì)量/電荷比，來確定被測物體是否存在泄漏。

　　普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀的維護保養(yǎng)措施：

　　1、日常保養(yǎng)

　　清潔外部表面：定期清理氦質(zhì)譜儀的外部表面，清除灰塵和其他污染物，以防止機器內(nèi)部的灰塵污染。使用濕布擦拭氦質(zhì)譜儀的外表，避免使用有溶劑的清潔劑，以免損壞機器。

　　檢查電路和部件：定期檢查氦質(zhì)譜儀的內(nèi)部電路板，確保電路正常工作，并及時處理可能存在的問題。確保接收器、探頭和其他部件的清潔，以保證正常工作。

　　2、故障處理

　　內(nèi)部泄漏：當檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

　　本底信號不穩(wěn)定：如果本底信號過高或不穩(wěn)定，可能是環(huán)境本底被污染或質(zhì)譜室被污染。應通風降低環(huán)境本底，或返廠進行清洗。同時，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，泵油是否被污染。

　　分子泵不啟動：檢查供電和前級真空是否正常，常見的原因是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動。

　　3、定期檢查

　　探頭和電纜：定期檢查氦質(zhì)譜儀的探頭，確保電子探頭的電壓和頻率正常，以及電子探頭的靈敏度和性能是否正常。同時，定期檢查外部電纜，確保電纜的緊固程度和性能正常。

　　電源和軟件：定期檢查氦質(zhì)譜儀的電源，確保電源的正常工作和電壓的正常調(diào)節(jié)。還應定期檢查軟件，確保軟件的正常工作。

　　4、操作注意事項

　　環(huán)境條件：氦質(zhì)譜檢漏儀存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生，避免外來物進入設備內(nèi)部。操作人員應嚴格按照安全操作規(guī)程進行操作。

　　運行監(jiān)測：使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動、高噪音等），立即切斷電源并排除故障。渦輪分子泵高速運轉(zhuǎn)時，不要搬動檢漏儀，以免葉片與轉(zhuǎn)子碰撞。